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三維形貌儀的幾大校準方法解析

更新時間:2021-06-21       點擊次數:2043
   三維形貌儀是一種科學儀器,是用來偵測并分析現實世界中物體或環境的形狀(幾何構造)與外觀數據(如顏色、表面反照率等性質)??煞譃榻佑|式、非接觸式、激光等類型。
  三維形貌儀的應用有三維表面輪廓測量、粗糙度測量、膜的臺階高度測量、空間分析和表面紋理表征、曲率測量、二維薄膜應力測量、表面質量和缺陷檢測等。
  三維形貌儀的幾大校準方法:
  1.三維形貌校準
  這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關,所以稱為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定;以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。
  2.二維光強校準
  這一校準和成像視場范圍內的“光強”信號相關。設備有一些功能,可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下,可以自動去除視場中黑白條紋,更清楚地觀測表面紋理;真彩模式可以復現表面彩色信息。
  由于以上功能相關標定都只涉及“光強”,不涉及到形貌高度,所以稱為二維光強校準。
  3.橫向校準
  這一校準是為了標定在當前設置下,每個像素在橫向上代表的尺寸大小。
  三維形貌儀很多測試結果和分析設置,如溝槽寬度,孔徑尺寸,坡度斜率,空間濾波,拼接測量,都基于或和橫向尺寸相關。對于這些結果和分析,橫向尺寸的標定是至關重要的。

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